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Microstructure,mechanical properties and thermal stability of TiAlN/Si3N4 nano-multilayer films depo

發(fā)布時間：2017-07-02    作者:      來源:      瀏覽次數(shù):     打印


出版物名稱：Advanced Materials Research
出版期號：2009,79-82,489-492.
出版時間：2009
論文題名：Microstructure,mechanical properties and thermal stability of TiAlN/Si3N4 nano-multilayer films deposited by reactive magnetron sputtering
論文作者：岳建嶺
論文摘要：*
關(guān)鍵詞：*
本院作者：岳建嶺


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