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反應磁控濺射ZrN/AlON納米多層膜的晶體生長和超硬效應
發(fā)布時間：2017-07-02 作者: 來源: 瀏覽次數(shù):
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出版物名稱：
物理學報
出版期號：
2006,55(11)6013-6019.
出版時間：
2006
論文題名：
反應磁控濺射ZrN/AlON納米多層膜的晶體生長和超硬效應
論文作者：
岳建嶺
論文摘要：
*
關(guān)鍵詞：
*
本院作者：
岳建嶺
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